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潔淨車間技術


空氣淨化的主要任務是根據各種產品生產工藝、不同工序、各類房間的空氣潔淨度等級需要,采取空氣過濾技術措施將潔淨室內空氣中懸浮的粒狀或化學分子汙染物質降低到允許的濃度下。潔淨室內的汙染源主要來自四個方麵:1、大氣中含塵、含菌、淨化空調係統中新風帶入的塵粒和微生物;2、作業人員發塵;3、建築圍護結構、設施的產塵,這裏包括牆、頂棚、地麵和一些裸露管線的產塵;4、設備及產品生產過程的產塵。
為保證產品環境或其他用途的潔淨室所要求的空氣潔淨度,要采取多種綜合技術措施才能達到要求。這些綜合措施包括:應采用產生汙染物少的生產工藝及設備,或采取必要的隔離和負壓措施防止生產工藝產生的汙染物質向周圍擴散,采用產塵少、不易滋生微生物似的室內裝修材料及工器具;減少人員及物料帶入室內的汙染物質;維持生產環境相對於室外或空氣潔淨度等級要求低的鄰室有一定的正壓,防止室外或鄰室的空氣攜帶汙染物質通過門窗過其他縫隙、孔洞侵入;加強潔淨室的管理,按規定進行清掃、滅菌等。
除采取上述種種技術措施之外,為使生產環境或其他用途的潔淨室室內環境控製在所要求的空氣潔淨度等級,重要的技術措施是需要送入足夠量的經過處理的清潔空氣,以替換或稀釋室內在正常工作時所產生的汙染物質汙染後的空氣。潔淨室的空氣淨化處理就是根據房間不同的潔淨度等級要求,采取不同方式送入經過處理的數量不等的清潔空氣,同時排走相應數量的攜帶有在室內所產生的汙染物質玷汙的髒空氣,靠這樣的動態平衡,使室內環境維持在所需的空氣潔淨度等級。
  目前潔淨室對送入空氣的潔淨方法,重要和使用廣泛的方式是空氣過濾法。送入潔淨室的清潔空氣,主要是靠送風係統的各個部位設置不同性能的空氣過濾器,用以除去空氣中的懸浮粒子和微生物。
  下麵將對潔淨室汙染控製領域中比較新穎的技術方案進行介紹:
  (1)用傳統的噴水室濕法處理空氣來處理新風中的化學物質。近幾年來日本開展了很多研究證明了其有效性。日本三機工業公司利用純水及自來水對氣體的噴水處理進行了比較研究,認為自來水比純水的淨化率更高,這是由於水中 離子等的影響。
  (2)有殺菌作用的HEPA過濾器(殺菌酵素過濾囂)。過去采用金屬離子的毒性來殺菌,如銀型陽高於交換纖維製成的空氣過濾器(IEE—Ag),現今可采用從生物體中提取的天然酵素(固定在纖維紙上,達到分子級的結合水平)將細菌的細胞壁溶解以達到殺菌的目的,是一種安全的滅菌措施,它防止了過濾器上微生物增殖所產生的二次汙染。
  (3)UV光電子空氣淨化方法。這種方法不同於普通的靜電過濾器,該方法利用將紫外線照射在金屬膜層上產生光電效應,在空氣中產生電子和負離子使流經的汙染物質荷電並被集塵極捕集。目前在有限的小空間範圍內已有應用。
  (4)除海鹽粒子過濾器海鹽粒子的粒徑範圍為1-lO ,中位粒徑約為3-4 。沿海岸地區空氣中含鹽量平均達1 左右(一般地區低於該值),台風等強風作用下可達100 。這種狀況對微電子工廠極為不利。現在有兩種措施:1)所采用的濾材即使在大量鹽分附著後不容易析出;2)在空調箱進入段處先設噴水段及檔水板,可先捕集90%的海鹽粒子,再經普通的空氣過濾器清除未被捕集的粒子。噴霧用水應直接排放出,不予回收。對於臨海設置的微電子工廠在空調淨化裝置中應予考慮。
  (5)智能型空氣離子淨化係統近幾年來歐洲開發了一種智能化淨化係統,如瑞土LK公司的IONAIR離子空氣智能化淨化係統,它利用離子發生工作單元的高壓電離原理,釋放出穩定的正負電氧離子族,帶電氧離子與VOC物質發生反應,將其分解成 和 ,同時帶電氧離子包裹並殺滅細菌,以達到去除臭味淨化空氣的目的,在這過程中,會產生少量 。為保證室內空氣質量處於狀態,該係統還配有智能化控製係統,通過送風管上的風速、濕度和傳感器及回風管和新風管中的空氣品質傳感器並能將檢測數據傳到電離控製器,以控製離子發生單元的工作強度,自動控製室內的空氣品質,同時這些數據通過傳送器和網絡,可以進行遠程監控
  (6)新型空氣吹淋室。傳統的吹淋室對人體吹淋停止後,小室內的含塵空氣有可能被帶入車間,新改進的吹琳室,具有快速自淨的功能,當停止吹淋氣流後,可部分轉換成頂部垂直氣流,這樣可使小室內空氣含塵量很快降低,達到自淨效果。
  (7)超薄型自淨裝置。日本Airtech公司新近開發了一種超薄型自淨器,厚度僅70mm,做成屏障式,可移動,出風口麵積為830x570mm,可配置各種等級的過濾器以及多種工作模式。
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